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将基片放(fang)入真空室内(nèi)，以電阻、電子(zi)束、激光等方(fāng)法加🐉熱膜🧑🏾🤝🧑🏼料(liao)，使膜料蒸發(fa)或升華，氣化(huà)爲具有一定(dìng)能量（0.1～0.3eV）的粒子(zǐ)（原子、分子🔞或(huò)原子團）。氣态(tài)粒子以基本(běn)無碰撞的直(zhi)線運動飛速(sù)傳送至基片(piàn)，到達基片表(biao)面的粒子一(yi)部分被反射(she)，另一部✔️分吸(xi)附在基片上(shàng)并發生表面(miàn)擴散，沉積原(yuán)子之間産生(sheng)二🐇維碰撞，形(xíng)成簇團，有的(de)可能在表面(miàn)短時停留後(hou)又蒸發。
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