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将(jiāng)基片放入真(zhen)空室内，以電(dian)阻、電子束、激(jī)光等方法👉加(jiā)熱膜料✏️，使膜(mo)料蒸發或升(sheng)華，氣化爲具(jù)有一定能量(liàng)（0.1～0.3eV）的粒子（原子(zǐ)、分子或原子(zi)團）。氣态粒子(zi)以基本無♋碰(peng)撞的直線運(yun)動飛速傳送(sòng)至基片，到達(dá)基片表面💰的(de)粒子一部分(fen)被反射，另一(yī)部分吸附在(zài)基片上并👅發(fa)生表面擴散(san)，沉積原子之(zhi)間産生二維(wei)碰撞，形成簇(cu)團，有的可能(neng)在表面短時(shi)停💞留後又蒸(zheng)發。
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