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蒸鍍反(fan)射鏡

産品(pǐn)概述
性(xing)能特點(diǎn)
技術參(can)數

　　蒸(zheng)鍍的物(wu)理過程(cheng)包括：沉(chén)積材料(liào)蒸發或(huò)升華爲(wei)氣态粒(lì)子→氣🌈态(tai)🏃‍♂️粒子快(kuài)速從蒸(zhēng)發源向(xiang)基片表(biao)面輸送(sòng)→氣态粒(lì)子附着(zhe)在基片(piàn)表面形(xíng)核、長大(da)成固體(ti)薄膜→薄(bao)膜原子(zǐ)重構或(huo)産生化(huà)學鍵合(hé)。

　　将基(jī)片放入(ru)真空室(shì)内，以電(diàn)阻、電子(zǐ)束、激光(guāng)等方法(fǎ)加熱膜(mó)料，使膜(mó)料蒸發(fā)或升華(huá)，氣化爲(wei)具有一(yī)定能量(liàng)（0.1～0.3eV）的粒子(zǐ)（原子、分(fen)子或原(yuan)子團）。氣(qì)态粒子(zi)以基本(ben)無碰撞(zhuàng)的直線(xiàn)運動飛(fēi)速傳送(song)至☂️基片(pian)，到達基(jī)片表面(miàn)的粒子(zi)一部分(fen)被反射(shè)，另一部(bù)分吸附(fu)在基片(piàn)上并發(fā)生表面(mian)擴散，沉(chen)積原子(zi)之間産(chǎn)生二🥵維(wei)碰撞，形(xing)成簇團(tuán)，有的可(kě)🙇🏻能在表(biao)面短時(shi)停🌈留後(hòu)又蒸發(fā)。